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风冷式冷水机半导体光刻机冷却

简要描述:风冷式冷水机半导体光刻机冷却:采用多个压缩机并联使用,每个压缩机自带一个独立的制冷回路,即蒸发器、冷凝器也完全独立。

  • 产品型号:QX-8A
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2020-06-03
  • 访  问  量:80
详细介绍
品牌自营品牌工作方式压缩机制冷
水箱容积详询来电L循环泵流量详询来电L/min
循环泵压力详询来电bar恒温波动度1℃
制冷量详询来电W恒温范围5~30℃
冷却方式风冷式价格区间面议
产地类别国产仪器种类一体式
应用领域食品,电子,印刷包装,制药,综合

风冷式冷水机半导体光刻机冷却

风冷式冷水机

机组特点:

● 主机精选欧、美、日全新世界品牌压缩机,制冷效率高,低噪音低,节省电能,安全环保耐用。

● 采用新型环保制冷剂,无臭氧破坏,可根据不同国家和地区选同的环保制冷剂。

● 控制电气采用品牌控制电器,保证机器工作稳定,寿命长久,安全可靠。

● 水泵,大排量,低能耗,省电耐用,可根据用户要求来选择水泵品牌及扬程和泵体材质。

● 低噪音外转子风机或轴流风机,噪音低,风量大,省电环保耐用。

● 配备精密式数显温度控制器,操作方便,简单直观。能精确控制水温±1℃,设定温度范围 5 ℃ -50 ℃,可直接分析机组的运行状况。(可根据用户要求配置控制系统。)

● 标配干式壳管式蒸发器或(不锈钢板式蒸发器),内置高效换热管,设计合理,换热效果良好;清洗维护方便快捷。

●冷冻水流体路采用高效能绝热材料保温,损失冷量少,更佳省电耐用。

● 水冷机组冷凝器采用高效能壳管式换热器(可选配不锈钢板式换热器),内置高效换热齿牙管,设计合理,换热效果良好;

● 风冷机组采用高效防腐散热器,由高效防腐的散热铝箔加上高效的螺纹换热的螺纹铜管组成,制造时采用二次翻边翘片机械涨管工艺和先进换热器生产线,保证优质高效环保节能。

● 静电喷塑外壳,欧化设计,美观大方,外表板采用快速拆装形式,方便使用和维护。

 

水的压力和温度——讲解

  空调用冷水机组一般是在标准工况所规定的冷水回水温度12℃,供水温度7℃,温差5℃的条件下运行的。对于同一台冷水机组来说,其运行条件不变,外界负荷一定的情况下,冷水机组的制冷量是一定的。此时,通过蒸发器的冷水流量与供、回水温差成反比,即冷水流量越大,温差越小;反之,流量越小,温差越大。所以,冷水机组工况规定冷水供回水温差为5℃,这实际上是规定了机组的冷水流量。这种冷水流量的控制就表现为控制冷水通过蒸发器的太力降。

 

  在标准工况下,蒸发器上冷水供回水压降调定为0.5kgf/cm2。其压降调定方法是调节冷泵出口阀门开度,和蒸发器供、回水阀门开度。阀门开度调节的原则是:蒸发器出水有足够的压力来克服冷水闭式循环系统中阻力;机组在负担设计负荷的情况下运行,蒸发器进、出水温差为5℃。此时进、出蒸发器的冷水压降为0.5kg/cm2左右。

 

  按照上述要求,阀门一经确定,冷水系统各阀门开度大小就应相对稳定不变。即使在非调定工况下运行(如卸载运行)旱,各阀门也应相对稳定不变。应当注意,全开阀门加大冷水流量,减少进、出水温差的做法是不可取的。这样做虽然会使蒸发器的蒸发温度提高,机组的冷量有所增加,但水泵功率也因此而提高,两相比较得不偿失。所以,蒸发器冷水侧进、出水压降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)为宜。

 

  一般来说,冷水供水管上的压力,只要能够满足克服冷水管系统中管道上的阴力损失就可以了,这可以从安装在冷水泵上的吸入压力表读数来判别。然后通过控制冷水泵出水阀的开度,可以调节冷水供水压力。将出水阀开度关小,则冷水泵背压提高,通过水泵的流量减少,水泵功率消耗下降,这时蒸发器的供水压力下降,但该压力无论如何也不应低于满足蒸发器供、回水压降为49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

 

  为了冷水机组的运行安全,蒸发器出水温度一般不低于3℃。此外,冷水系统虽然是封闭的,在蒸发器中水侧结垢和腐蚀不会像冷凝器那样严重,但从设备检查维修要求出发,应每年对蒸发器管道的水侧和冷水系统的其他管道清洗一次。

 

风冷式冷水机半导体光刻机冷却

 


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