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水冷式冷水机半导体光刻机冷却

简要描述:水冷式冷水机半导体光刻机冷却:冷水机组采用先进的微电脑智能化控制系统,精确控制工业生产过程所需的各种温度(5℃~35℃)。

  • 产品型号:QX-30W
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2020-06-03
  • 访  问  量:78
详细介绍
品牌自营品牌工作方式压缩机制冷
水箱容积详询来电L循环泵流量详询来电L/min
循环泵压力详询来电bar恒温波动度1℃
制冷量详询来电W恒温范围5~30℃
冷却方式水冷式价格区间面议
产地类别国产仪器种类一体式
应用领域食品,电子,印刷包装,制药,综合

水冷式冷水机半导体光刻机冷却

由压缩机、冷凝器、蒸发器、干燥过滤器、膨胀节流阀这五大部分而成,里面冲注适量冷媒(制冷剂),由电器(含控制器)根据的需求而控制压缩机运转而达到制冷传热的目的。

 

制冷机器,又称冰水机、冷冻水机、制冷机等。能够循环制造高低温、恒温、恒压、恒流的循环冷冻水。蒸汽压缩冷水机组包括四个主要组成部分的蒸汽压缩式制冷循环(压缩机,蒸发器,冷凝器,循环泵),这些机器可以实现不同的制冷剂。压缩式制冷机利用冷媒作为制冷剂,以达到制冷效果很强的亲和力

 

主要部件均为进口配置压缩机采用比泽尔Bitzer、美国谷轮Copeland、汉钟Hanbell美国丹佛斯Danfoss等品牌;除两器外,其它80%以上制冷元件均采用美国Danfoss、美国Alco、法国Carly、美国Emerson等品牌;结合科学严谨的施工工艺;确保制冷系统的安全可靠。运用新型CAD/CAM加工技术,配合CNC加工中心制作完成,结构紧凑,可靠性高,具有性能稳定,外形美观,高效节能等。配置先进的自动控制系统;能实现工艺冷却连续性24小时运行的要求。

 

操作流程:

1.首先前将电源on。

2.冷却开关,此时请注意冷却水出入口阀门必须打开;(注风冷式无须水塔)。

3.再冷冻水泵开关,靖注意冻水出入口阀门必须打开,经延时开关压缩机会自动运行,请查视及调节所需温度。

4.关机时,请依相反的顺序操作关机。

 

冷水机操作时应注意的事项

1.冷冻水泵不可在水箱内无水运转;

2.操作开关请尽理避免连续切换;

3.冻水温度达到设定温度时,压缩机会自动停止运行,此属正常现象;

4.温度开关应避免设定在5℃以下,防止蒸发器结冰;(低温冷冻机除外)。

5.为确保冷水机制冷效果,保持高效状态,请定期清洗冷凝器及蒸发器和水过滤器。

 

水的压力和温度——讲解

  空调用冷水机组一般是在标准工况所规定的冷水回水温度12℃,供水温度7℃,温差5℃的条件下运行的。对于同一台冷水机组来说,其运行条件不变,外界负荷一定的情况下,冷水机组的制冷量是一定的。此时,通过蒸发器的冷水流量与供、回水温差成反比,即冷水流量越大,温差越小;反之,流量越小,温差越大。所以,冷水机组工况规定冷水供回水温差为5℃,这实际上是规定了机组的冷水流量。这种冷水流量的控制就表现为控制冷水通过蒸发器的太力降。

 

  在标准工况下,蒸发器上冷水供回水压降调定为0.5kgf/cm2。其压降调定方法是调节冷泵出口阀门开度,和蒸发器供、回水阀门开度。阀门开度调节的原则是:蒸发器出水有足够的压力来克服冷水闭式循环系统中阻力;机组在负担设计负荷的情况下运行,蒸发器进、出水温差为5℃。此时进、出蒸发器的冷水压降为0.5kg/cm2左右。

 

  按照上述要求,阀门一经确定,冷水系统各阀门开度大小就应相对稳定不变。即使在非调定工况下运行(如卸载运行)旱,各阀门也应相对稳定不变。应当注意,全开阀门加大冷水流量,减少进、出水温差的做法是不可取的。这样做虽然会使蒸发器的蒸发温度提高,机组的冷量有所增加,但水泵功率也因此而提高,两相比较得不偿失。所以,蒸发器冷水侧进、出水压降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)为宜。

 

  一般来说,冷水供水管上的压力,只要能够满足克服冷水管系统中管道上的阴力损失就可以了,这可以从安装在冷水泵上的吸入压力表读数来判别。然后通过控制冷水泵出水阀的开度,可以调节冷水供水压力。将出水阀开度关小,则冷水泵背压提高,通过水泵的流量减少,水泵功率消耗下降,这时蒸发器的供水压力下降,但该压力无论如何也不应低于满足蒸发器供、回水压降为49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

 

  为了冷水机组的运行安全,蒸发器出水温度一般不低于3℃。此外,冷水系统虽然是封闭的,在蒸发器中水侧结垢和腐蚀不会像冷凝器那样严重,但从设备检查维修要求出发,应每年对蒸发器管道的水侧和冷水系统的其他管道清洗一次。

 

水冷式冷水机半导体光刻机冷却

 


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