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光刻机芯片冷却水冷式冷水机

简要描述:光刻机芯片冷却水冷式冷水机:压缩机超高能效、低噪音、制冷量大;压缩机延时启动,内外皆置安全保护,性能稳定 ;

  • 产品型号:QX-15W
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2020-06-03
  • 访  问  量:60
详细介绍
品牌自营品牌工作方式压缩机制冷
水箱容积详询来电L循环泵流量详询来电L/min
循环泵压力详询来电bar恒温波动度1℃
制冷量详询来电W恒温范围5~30℃
冷却方式水冷式价格区间面议
产地类别国产仪器种类一体式
应用领域食品,电子,印刷包装,综合

光刻机芯片冷却水冷式冷水机

产品说明:

1.压缩机超高能效、低噪音、制冷量大;压缩机延时启动,内外皆置安全保护,性能稳定 ;

2.冷冻机专用涡流水泵;不堵塞、起动扭矩大、密封性好;

3.水箱式蒸发器内置自动补水装置,方便安装及保养,适用于大温差小流量等特殊场合;

4.冷凝器为套管或者壳管式,内铺铜管,换热效果好;

5.压缩机小于或者等于6hp用毛细管;大于6hp则用美国艾可和丹麦丹佛斯膨胀阀(多机头除外);

6.电脑PC板,触摸式控制,安全方便;

7.内置外覆绝热材料的不锈钢水箱1个;

8.施耐德电器;LAE温控,温度3~50℃范围内可控可调,温差:±1℃;R22冷媒;

 

9.安全保护系统

压缩机延时起动保护

冰水泵过载及指示灯

压缩机过载保护

马达反转保护及指示灯

压缩机过载保护及指示灯

冷媒不足保护及指示灯

冷媒高压安全阀

散热不良保护及指示灯

故障警报蜂鸣器

 

水的压力和温度——讲解

  空调用冷水机组一般是在标准工况所规定的冷水回水温度12℃,供水温度7℃,温差5℃的条件下运行的。对于同一台冷水机组来说,其运行条件不变,外界负荷一定的情况下,冷水机组的制冷量是一定的。此时,通过蒸发器的冷水流量与供、回水温差成反比,即冷水流量越大,温差越小;反之,流量越小,温差越大。所以,冷水机组工况规定冷水供回水温差为5℃,这实际上是规定了机组的冷水流量。这种冷水流量的控制就表现为控制冷水通过蒸发器的太力降。

 

  在标准工况下,蒸发器上冷水供回水压降调定为0.5kgf/cm2。其压降调定方法是调节冷泵出口阀门开度,和蒸发器供、回水阀门开度。阀门开度调节的原则是:蒸发器出水有足够的压力来克服冷水闭式循环系统中阻力;机组在负担设计负荷的情况下运行,蒸发器进、出水温差为5℃。此时进、出蒸发器的冷水压降为0.5kg/cm2左右。

 

  按照上述要求,阀门一经确定,冷水系统各阀门开度大小就应相对稳定不变。即使在非调定工况下运行(如卸载运行)旱,各阀门也应相对稳定不变。应当注意,全开阀门加大冷水流量,减少进、出水温差的做法是不可取的。这样做虽然会使蒸发器的蒸发温度提高,机组的冷量有所增加,但水泵功率也因此而提高,两相比较得不偿失。所以,蒸发器冷水侧进、出水压降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)为宜。

 

  一般来说,冷水供水管上的压力,只要能够满足克服冷水管系统中管道上的阴力损失就可以了,这可以从安装在冷水泵上的吸入压力表读数来判别。然后通过控制冷水泵出水阀的开度,可以调节冷水供水压力。将出水阀开度关小,则冷水泵背压提高,通过水泵的流量减少,水泵功率消耗下降,这时蒸发器的供水压力下降,但该压力无论如何也不应低于满足蒸发器供、回水压降为49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

 

  为了冷水机组的运行安全,蒸发器出水温度一般不低于3℃。此外,冷水系统虽然是封闭的,在蒸发器中水侧结垢和腐蚀不会像冷凝器那样严重,但从设备检查维修要求出发,应每年对蒸发器管道的水侧和冷水系统的其他管道清洗一次。

 

光刻机芯片冷却水冷式冷水机

 


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